美國RENISHAW光柵尺TONiC雷尼紹RENISHAW光柵尺TONiC是RENISHAW一種超小型光柵產(chǎn)品,可讀取各種20 μm柵距柵尺。其主要特征是IN-TRAC?參考零位,只需輕按按鈕即可自動調(diào)相,十分*特。TONiC系統(tǒng)包含讀數(shù)頭、模擬量或數(shù)字量接口,以及直線或者圓形增量式光柵。直線柵尺包括RGSZ輕薄型鍍金柵尺、RELM ZeroMet柵尺、RSLM不銹鋼柵尺和RTLC-S自貼式鋼帶柵尺,同時也提供導(dǎo)軌安裝型FASTRACK RTLC直線光柵系統(tǒng)。圓光柵包括RESM不銹鋼圓光柵和超高精度REXM圓光柵。
工作原理……TONiC采用雷尼紹***一代的*特光學(xué)濾波裝置,與SiGNUM(*13頁)采用的設(shè)計類似,但作了三大重要改進(jìn)。
***,TONiC設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,信噪比有所提高。光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的**電子器件,大帶寬增量信號可達(dá)到10 m/s的***速度,同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)***的。事實上,TONiC接口內(nèi)部的其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強(qiáng)了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖動水平*為0.51 nm RMS。
*二大改進(jìn)就是開發(fā)出了*全集成的參考零位。如圖所示,現(xiàn)在參考零位分離式探測器直接嵌入增量碼道線性光電二*管陣列的**,從而盡量避免出現(xiàn)扭擺失相。
TONiC的*三個改進(jìn)是將***動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能*全集成到讀數(shù)頭中,也就是說可以直接從讀數(shù)頭獲得經(jīng)過徹底處理的信號,該信號通過自動增益控制和自動偏置控制功能進(jìn)行優(yōu)化獲得非常低的SDE (±30 nm)。