HORIBA通過(guò)遍布的運(yùn)營(yíng)公司，提供面向多個(gè)行業(yè)的廣泛的儀器和系統(tǒng)，其中包括汽車研發(fā)、過(guò)程和環(huán)境監(jiān)測(cè)、體外醫(yī)療診斷、半導(dǎo)體生產(chǎn)與計(jì)量以及多種科學(xué)研發(fā)與質(zhì)控測(cè)量。HORIBA出類拔萃的質(zhì)量和值得信賴的性能，贏得了客戶的廣泛的信賴。

我們?cè)?ldquo;新奇 有趣”這個(gè)別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下，通過(guò)提供科學(xué)進(jìn)步所需的**產(chǎn)品，履行我們的社會(huì)責(zé)任——尤其是在保護(hù)健康、**和環(huán)境方面。遍布每個(gè)角落的“HORIBA人”，期待著與您合作，為您提供滿足需求的*佳分析解決方案。

HORIBA提供多種自動(dòng)注入裝置，**、可靠的傳輸液體到任何端點(diǎn)。針對(duì)半導(dǎo)體工藝挑剔的要求，HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料，以達(dá)到高性能的表現(xiàn)效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對(duì)光刻、擴(kuò)散工藝中用到的強(qiáng)腐蝕性材料，F(xiàn)DM系統(tǒng)選用抗腐蝕非金屬材料，保證工藝系統(tǒng)的壽命及**。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進(jìn)的溫度補(bǔ)償鼓泡裝置裝置VM系列。

HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎(jiǎng)（FDM系列），此獎(jiǎng)項(xiàng)表彰于HORIBA在擴(kuò)散工藝中成功開(kāi)發(fā)了POCL3自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內(nèi)。

FDM和VM系統(tǒng)適用于硅基電池片的擴(kuò)散制程，同樣可以用于BBr3的擴(kuò)散制程，減少運(yùn)輸和人力成本，提高**性。

規(guī)格

1.提高產(chǎn)能

VM系列（汽化傳輸系統(tǒng)）無(wú)需使用傳統(tǒng)的石英鼓泡器更換，實(shí)現(xiàn)*小化停機(jī)時(shí)間，有效提供產(chǎn)能。

2.減少運(yùn)營(yíng)成本

FDM系列可減少POCL3消耗：每公斤可降低30*的價(jià)格

依賴于持續(xù)工作，實(shí)現(xiàn)超過(guò)99.8*的正常運(yùn)營(yíng)時(shí)間

減少POCL3浪費(fèi)

更長(zhǎng)的壽命，更低的維護(hù)成本，系統(tǒng)內(nèi)部工藝流程無(wú)需暴露于周圍環(huán)境

3.提高工藝穩(wěn)定

VM系列**將液位保持”High”狀態(tài)，使整個(gè)工藝流程相比較石英鼓泡系統(tǒng)更為穩(wěn)定

由于鼓泡裝置的持續(xù)注入，液位將不會(huì)受到影響

無(wú)鼓泡裝置需更換，避免操作失誤

無(wú)環(huán)境溫度的影響

薄層電阻相較于傳統(tǒng)鼓泡裝置更為穩(wěn)定，再現(xiàn)性更出色

4.提升**性

無(wú)石英材料。VM系列將由PFD材質(zhì)構(gòu)建。相較于石英材料，PFD更為堅(jiān)固，無(wú)需替換

無(wú)需定期更換parts，減少人工操作失誤

POCL3將從20L的不銹鋼瓶傳輸控制至PFA管路

堅(jiān)固、無(wú)泄漏的鼓泡外殼與廠務(wù)端鏈接排氣

集成液體泄漏，氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置

濕線清理與泄漏自動(dòng)監(jiān)測(cè)

5.提高可靠性

POCL3是一款親水性強(qiáng)可產(chǎn)生磷酸導(dǎo)致腐蝕或結(jié)晶的液體。常規(guī)的鼓泡系統(tǒng)需要定期更換會(huì)導(dǎo)致提升與空氣接觸的可能性。HORIBA POCL3的自動(dòng)注入系統(tǒng)不需要定期更換鼓泡系統(tǒng)，有效降低了POCL3管道與空氣接觸的可能性。